微機械陀螺是微機械加工技術(shù)和陀螺理論相結(jié)合的產(chǎn)物，它在二十世紀八十年代后期得到發(fā)展，有著極春廣闊的應(yīng)用前景，可應(yīng)用于衛(wèi)星、飛機、汽車、工業(yè)機器人、攝影、玩具、醫(yī)療器械的方向定位和姿態(tài)測量等民用或商業(yè)領(lǐng)域，同時也是航空、航天、兵器等領(lǐng)域中運載器控制系統(tǒng)或慣性導航、制導系統(tǒng)必不可少的重要敏感光電開關(guān)元件。實現(xiàn)微陀螺的微機械結(jié)構(gòu)方式有諧振式和框架驅(qū)動式等。下面簡介框架驅(qū)動式微陀螺的結(jié)構(gòu)原理。 |
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